Aparatuur
kiletehnoloogia labori käsutuses olevad olulisemad uurimismeetodid
Aatomkihtsadestamine
Keemiline sadestamine aurufaasist
Elektronkiiraurustamine
Magnetrontolmustamine
Plasmatöötlus
TEM, Läbivalgustav elektronmikroskoopia
SEM-FIB, Skaneeriv, fokusseeritud ioon- ja elektronkiirega kõrglahutusmikroskoopia
e-SEM, Skaneeriv keskkonnaelektronmikroskoopia
AFM, Aatomjõu mikroskoopia
Röntgenmikroanalüsaator
XRD, Röntgendifraktomeeter SmartLab (Rigaku)
XRR, Röntgendifraktsioon ja -peegeldus
XRF, Röngenfluorestsentsspektroskoopia
Korrosiooniuuringud
Ellipsomeetria
Profilomeeter
Tahkisekilede elektrijuhtivuse ja gaasitundlikkuse mõõtmise meetodid
Seadmed metalloksiidsete fiiber- ja kilematerjalide sool-geel sünteesiks